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中國臺灣博亞特密封技術開發(fā)有限公司

進口全氟橡膠O型圈（FFKM）類似聚四氟乙烯（PTFE）材料，全氟橡膠具有優(yōu)異耐化學性和耐高溫性。普通全氟橡膠O型圈工作溫度為-250℃~240℃,特殊全氟橡膠O型圈溫度可達320℃。

優(yōu)點：耐熱性*，優(yōu)異的抗化學特性；缺點：耐低溫較差，原料價格偏高，生產(chǎn)難度比較大。全氟橡膠O型圈廣泛地運用于半導體產(chǎn)業(yè)及信息相關產(chǎn)業(yè)所運用, 運用范圍包含薄膜制程中之PVC, CVD及蝕刻制程及各種高真空密封制程。

進口全氟橡膠O型圈的溝槽設計

1、O型圈的壓縮變形量

全氟O型圈的使用經(jīng)驗表明，安裝后*壓縮量為12%-18%，有利于延長密封壽命。過大的壓縮變形可能導致O型圈破裂、擠出、特別是當O型圈在高溫環(huán)境中工作時，此時的熱膨脹是主要考慮因素。

當O型圈的工作溫度低于0℃的時候，應該使用特別的壓縮量，此時安裝后*壓縮量為15%-21%。當O型圈處于循環(huán)溫度環(huán)境，（從低溫到高溫》149℃）中時，高壓縮量存在著潛在的風險，必須在兩者之間有一個平衡。

2、O型圈的拉伸

為了獲得適當?shù)拿芊庑阅芗囱娱L密封壽命，安裝時拉伸1%-3%是比較適當?shù)?，zui大可到5%。拉伸量過小可能會導致O型圈安裝不穩(wěn)，過大則可能會導致O型圈斷裂或承受較高的內部應力（Gow-Joule效應）而導致過早失效。

3、熱膨脹

在25-250℃的溫度范圍內，全氟橡膠線膨脹系數(shù)是3.2*10^-4℃^-1。轉化成體積熱膨脹后全氟橡膠大體上比氟橡膠大75%。當在高溫環(huán)境中應用時，就必須考慮這個膨脹因素，否則將導致密封件過早的失效。

當設計一個密封系統(tǒng)時，標準的溝槽設計時設計的起點。在多數(shù)情況下，溝槽空間或許對全氟O型圈來說是充分的，然而當遇到高溫工況時，溝槽體積就可能會滿足不了O型圈的膨脹，此時O型圈會從溝槽間隙擠出，或沿著圓周方向將密封件劈開（多數(shù)情況下是延分模面裂開）。在遇到這兩種情況時，就要考慮增加溝槽體積來適應O型圈熱膨脹效應。

的安裝

1、潤滑

彈性體密封安裝過程中，通過使用潤滑油脂可以減小磨損和卡咬。一般來說，薄薄的潤滑膜對于安裝O型圈來說是必須的，因為全氟密封件用于惡劣工況中，潤滑油能夠提高密封件的耐高溫碳化破裂能力。在多數(shù)情況下，使用被密封的介質當做潤滑油、氟化油，例如：粉末狀石墨也可以用作潤滑油。即使使用了潤滑油，密封件的安裝過程也要注意減少對O型圈的損傷。

2、拉伸

大多數(shù)全氟橡膠的扯斷伸長率在120%-170%。當安裝O型圈的時候，必須注意伸長率這個數(shù)據(jù)，防止超出扯斷伸長率而導致O型圈斷裂。一般來說，安裝O型圈的拉伸程度應控制扯斷伸長率的50%以內，如果遇到很難安裝的狀況時，應先將O型圈置于熱水中軟化，正確的安裝方法可以避免密封件的損傷。