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國初科技(廈門)有限公司

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新型膜法加氣技術解決半導體純水防靜電難題

2025-2-28 閱讀(138)

在半導體制造領域,純水是“生命線",其質量直接關系到芯片的性能和良率。除了對水中離子、顆粒物的嚴格控制外,溶解氣體和靜電問題也是影響生產的關鍵因素。芯片生產制造過程中,靜電會損傷產品,造成產品缺陷。因此,如何有效防止靜電產生,成為半導體超純水工藝亟待解決的難題。

傳統(tǒng)方法中,直接噴淋純水和循環(huán)沖洗雖能在一定程度上消除靜電,卻存在諸多弊端。其電阻率易受溫度、濕度以及設備老化等因素影響,穩(wěn)定性差,導致靜電防護效果時好時壞,增加了產品因靜電損壞的風險。維護成本也相當高昂,定期的水質檢測需采購昂貴的設備和試劑,過濾設備、離子交換樹脂等耗材的更換頻繁,人工成本也不容小覷,給企業(yè)帶來沉重負擔。而且,它對環(huán)境要求苛刻,生產車間需嚴格控制潔凈度,純水儲存和輸送需特殊容器和管道,限制了應用場景。此外,一旦出現靜電突發(fā)狀況,由于純水制備和循環(huán)耗時,應急響應能力不足,難以在關鍵時刻保護產品和設備。

在半導體純水防靜電領域,采用新型無氣泡的膜加氣技術。讓高純度二氧化碳均勻溶解到超純水中。二氧化碳溶解于純水中,會形成碳酸根離子,使得水箱中純水的電阻率大幅度降低,防止在半導體材料劃片制程、清洗過程中產生靜電損傷產品,消除切割微粒的靜電吸附便于清洗。產品清洗烘干后,二氧化碳會揮發(fā)不殘留任何雜質,不造成污染。

無氣泡膜加氣技術所用的膜是一種疏水性膜。膜的一側為二氧化碳,另外一側走水。二氧化碳可以自由穿過膜而均勻溶解到水里,水側的水及離子不能透過膜,通過精密調節(jié)控制二氧化碳的量,可以實現精確控制水側二氧化碳的濃度,從而精確調節(jié)超純水的電阻率。

加氣膜在半導體純水防靜電方面發(fā)揮了顯著作用:

無二次污染采用高純二氧化碳氣體作為降低電阻的物質引入超純水中,烘干后二氧化碳可以揮發(fā),不殘留任何雜質。不會對產品造成二次污染。

精準控制通過加氣膜組件可以快速、穩(wěn)定、精確地控制二氧化碳溶解量,節(jié)省二氧化碳消耗,滿足用水電阻要求。

使用壽命長加氣膜性能穩(wěn)定,具有很長的使用壽命,減少了設備故障和停機時間,降低了維護成本,為半導體制造提供了有力保障。

國初科技(廈門)有限公司自成立以來,以膜分離技術為核心,致力于新型分離技術推廣,不斷探索新型膜分離技術在生物制藥、微電子、冶金、化工、機械、食品、乳品、飲料、環(huán)境等領域的新應用,根據不同客戶的高度差異化需求,提供針對性的過濾及純化綜合解決方案,提高產品的品質,滿足客戶的需求。




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