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晶圓退火爐/半導(dǎo)體真空退火爐 AOL-100GV-HMI

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更新時間:2023-05-03 10:01:22瀏覽次數(shù):413次

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產(chǎn)品簡介

晶圓退火爐/半導(dǎo)體真空退火爐AOL-100GV-HMI工作尺寸(mm):W610×H650×D750外形尺寸(mm):W1900×H2075×D1250功率:14KW性能特點(diǎn):◆智能控制系統(tǒng),PLC程序控制,基于TCP/ip協(xié)議,與工廠系統(tǒng)對接,實(shí)現(xiàn)自動化烘烤,過程管理

詳細(xì)介紹

晶圓退火爐/半導(dǎo)體真空退火爐 AOL-100GV-HMI
工作尺寸(mm): W610×H650×D750
外形尺寸(mm): W1900×H2075×D1250
功率:14KW
性能特點(diǎn):
 智能控制系統(tǒng),PLC程序控制,基于TCP/ip協(xié)議,與工廠系統(tǒng)對接,實(shí)現(xiàn)自動化烘烤,過程管理;
◆ 箱體周身做密閉氬弧焊接, 耐高溫硅膠迫緊;
 特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),含氧量:<20PPM;
 氧含量分析儀,可實(shí)時監(jiān)測氧含量;
 安裝氮?dú)饪刂蒲b置,箱體可以接入氮?dú)?/font>,N2數(shù)字流量器,可實(shí)時監(jiān)控氮?dú)饬髁?/font>;
 SUS310#不銹鋼無塵化電熱產(chǎn)生器,防機(jī)臺本身產(chǎn)生微塵;
 無塵等級:Class 100
 真空度:133Pa
技術(shù)參數(shù):
1. 送風(fēng)方式:強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)。
2. 溫度范圍:+60~620℃。
3. 溫度波動:<±0.5℃。
4. 溫度均勻:200℃±3;350℃±4;600℃±7.5(空箱測試)
5.  升溫速度:常溫600,升溫速率08/min以內(nèi)
6.  降溫速度:500360,12/min,360200,51/min,200125,31/min,125
        80,10.5/min,水冷+風(fēng)冷降溫。
7 控溫方式:訊號來源,采用K型 鉑電阻 感應(yīng)棒±0.5%。
  溫控裝置:歐姆龍PLC + 10寸工控電腦。
        PC 內(nèi)部記錄數(shù)據(jù),使用 Excel 等常用軟件可以讀取,最短數(shù)據(jù)記錄間隔5S
        歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過USB接口導(dǎo)出)
        系統(tǒng)記錄并處理各種烘箱異常事件。如:超溫,氮?dú)獠蛔?,含氧量超?biāo)、門未關(guān)到位
  溫控輸出:SSR輸出  
8.  氮?dú)饪刂蒲b置:氮?dú)饬髁坑?jì),N2數(shù)字流量器,可實(shí)時監(jiān)控氮?dú)饬髁?/font>。
9.  箱體材料:外部采用1.2mm厚度冷扎碳鋼板,經(jīng)防銹處理后靜電噴塑,耐劃傷。
10.內(nèi)室材料:采用 2.0mm厚度SUS310優(yōu)質(zhì)不銹鋼鋼板,周身做密閉氬弧焊接
11.保溫材料:120K級高密度硅酸鋁纖維;
12電加熱器:覆套式電熱器 (SHEATHED HEATER)無塵化U型管狀(不銹鋼SUS310#)電熱發(fā)生器。
13.保護(hù)裝置:漏電斷路器,超溫保護(hù),開門氮?dú)庾詣又袛啾Wo(hù),馬達(dá)過載電流保護(hù),N2流量動態(tài)監(jiān)
        控,排風(fēng)口壓力報(bào)警,工作期間門自動鎖閉
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

關(guān)鍵詞:PLC 保溫材料 硅酸鋁
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