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日立球差校正透射電子顯微鏡HF-5000

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

日立球差校正透射電子顯微鏡HF-5000，是日立的200kV球差校正場(chǎng)發(fā)射透射電鏡，采用冷場(chǎng)發(fā)射電子槍和全自動(dòng)化的球差校正技術(shù)，在保證超高分辨率的同時(shí)大大簡(jiǎn)化操作，實(shí)現(xiàn)高分辨觀察與易用性的*結(jié)合。HF-5000同樣具有超高空間分辨率的分析能力，配合電子能量損失譜（EELS）和大面積無(wú)窗能譜（EDS）可以對(duì)原子級(jí)圖像進(jìn)行觀察和分析，是材料微觀結(jié)構(gòu)研究的Z佳工具。

詳細(xì)介紹

日立球差校正透射電子顯微鏡HF-5000

產(chǎn)品介紹：

HF-5000是日立的200kV球差校正場(chǎng)發(fā)射透射電鏡，采用冷場(chǎng)發(fā)射電子槍和全自動(dòng)化的球差校正技術(shù)，在保證超高分辨率的同時(shí)大大簡(jiǎn)化操作，實(shí)現(xiàn)高分辨觀察與易用性的*結(jié)合。HF-5000同樣具有超高空間分辨率的分析能力，配合電子能量損失譜（EELS）和大面積無(wú)窗能譜（EDS）可以對(duì)原子級(jí)圖像進(jìn)行觀察和分析，是材料微觀結(jié)構(gòu)研究的工具。

日立球差校正透射電子顯微鏡HF-5000主要特點(diǎn)：

日立研發(fā)的全自動(dòng)STEM球差校正器

高穩(wěn)定、高亮度的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍

TEM、STEM、SEM三位一體

大面積、大固體角的無(wú)窗能譜儀

全新設(shè)計(jì)的鏡筒和高壓系統(tǒng)

全新設(shè)計(jì)的保護(hù)罩和熒光屏相機(jī)

高穩(wěn)定性側(cè)插樣品桿

兼容日立的特殊樣品桿和FIB系統(tǒng)

技術(shù)參數(shù)：

項(xiàng)目	主要參數(shù)
電子槍	冷場(chǎng)發(fā)射電子槍
加速電壓	60-200kV
TEM點(diǎn)分辨率	0.23nm
HAADF-STEM分辨率	0.078nm
能譜	無(wú)窗SDD能譜，2 x 100mm²，固體角2.0 Sr
電子能量損失譜	Gatan GIF Quantum or Enfinium spectrometer
圖像模式	TEM明場(chǎng)像、BF-STEM明場(chǎng)像、ABF-STEM環(huán)形暗場(chǎng)像、HAADF-STEM高角度環(huán)形暗場(chǎng)像、二次電子像、電子衍射花樣、特征X射線像（可選）、EELS像（可選）

應(yīng)用領(lǐng)域：

HF-5000作為一款球差校正冷場(chǎng)發(fā)射透射電鏡，其分辨率達(dá)到了亞埃級(jí)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的超細(xì)微觀結(jié)構(gòu)的觀察和分析，適用于金屬、陶瓷、半導(dǎo)體、納米材料等的觀察。同時(shí)，HF-5000的TEM、STEM、SEM三位一體功能不僅可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)的研究，也可以獲得材料表面的信息。原子級(jí)分辨率的二次電子探測(cè)器可以彌補(bǔ)TEM和STEM無(wú)法觀察樣品表面的缺陷，同時(shí)相比普通的SEM又具有更高的分辨率，可以滿足樣品表面高分辨形貌和結(jié)構(gòu)觀察的需求，與TEM和STEM形成互補(bǔ)。全自動(dòng)化的球差校正過(guò)程又大大簡(jiǎn)化了球差校正透射電鏡的使用難度，提高了觀察效率，尤其適合測(cè)試平臺(tái)和科研中心等用戶。

關(guān)鍵詞：電子顯微鏡顯微鏡

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