由于客戶常利用UV表面檢查燈來檢查設(shè)備或環(huán)境的落塵狀況，但有部份機(jī)臺因內(nèi)部管道狹窄，人員不易進(jìn)出，故希望能縮小檢查燈的重量或是體積。美國路陽luyor公司推出之手電筒型UV檢查燈，已可大幅提高使用之方便性，方便人員進(jìn)出大型設(shè)備內(nèi)部執(zhí)行環(huán)境檢查;而對于主管或稽核單位，該公司近日推出之隨身攜帶型UV檢查燈，除了只有約15CM長的迷你設(shè)計(jì)，不發(fā)熱的優(yōu)點(diǎn)，無需任何預(yù)熱時(shí)間。
LUYOR牌UV表面檢查燈（微粒檢出機(jī)）就是適應(yīng)工業(yè)越來越高的環(huán)境要求而研發(fā)生產(chǎn)的高科技表面污染檢查設(shè)備，它的應(yīng)用有效解決了企業(yè)制程環(huán)境適時(shí)控制問題，受到大量工藝及制程工程師和企業(yè)主的歡迎，在提升產(chǎn)品品質(zhì)上也開始扮演重要角色，因而也受到相關(guān)品質(zhì)部門人員的歡迎。近年來UV表面檢查燈（微粒檢出機(jī)）越來越廣泛的應(yīng)用于工業(yè)電子及生物醫(yī)藥無塵室環(huán)境控制，其主要作用是能有效地將肉眼不可見之微粒有效檢出及可視化呈現(xiàn)，極其適合于工業(yè)管理者對無塵室的適時(shí)檢查（手持式表面檢查燈），也可用于工業(yè)制程環(huán)境的改善和品質(zhì)控制管理（桌上型表面檢查燈）。根據(jù)不同的制程要求有紫光、綠光及白光燈，實(shí)踐證明UV表面微粒檢查機(jī)對對曝光機(jī);顯影機(jī)、蝕刻、黃光及偏光板貼附機(jī)臺效果zui為顯著。UV光是使用用人體無害的 UVA 波長: 365nm ，對于制程機(jī)臺 or Parts Cleaner 機(jī)臺上之有機(jī)物質(zhì)，油漬、水漬、 帶靜電Paricle、毛屑、纖維、膠類物質(zhì)Particle皆可觀察。它們的應(yīng)用有利于提高環(huán)境要求，改善無塵室管理及更有效地控制，符合工業(yè)發(fā)展的潮流。較無法觀察金屬鐵屑、玻璃及白底的地方，需強(qiáng)光或換一個(gè)較暗的背景。目前臺積電、奇美、華映、群創(chuàng)大量使用美國路陽LUYOR公司UV表面檢查燈（微粒檢出機(jī)）。無塵室檢查表面灰塵使用手持式UV光表面檢查燈（微粒檢出機(jī)）采用型號為luyor-365表面檢查燈，UV光波長為365nm，光強(qiáng)度為5000uw以上 。
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