污水處理包括城市污水、工業(yè)污水與醫(yī)療污水的處理，主要目的為殺菌消毒、去除污染物質(zhì)并脫色、除味以達到排放標準。近幾年由于水資源匾乏，行業(yè)主管部門制定了工業(yè)、生活污水回用的法規(guī)，提高了處理標準。
美國在本世紀七十年代初開始利用污水處理移動式臭氧發(fā)生器處理生活污水，其主要的目的為消毒并降低生物耗氧量(BOD)和化學(xué)耗氧量(COD)，去除亞酸鹽、懸浮固體及脫色，已達到全面生產(chǎn)應(yīng)用的水平。日本則在缺水地區(qū)進行污水臭氧處理后作為非食用水(即中水)循環(huán)使用。
工業(yè)污水臭氧用來對電鍍含污水氧化、紡織印染污水脫色、精煉污水去酚、烷類物質(zhì)等。美、日、德、法等國近年都建立了大規(guī)模的污水處理廠，我國?、印染行業(yè)也有試驗性應(yīng)用。
對工業(yè)含酚、、有機氨、腈、基染料、有機磷、有機氯化合物等的廢水處理。用臭氧水處理污水，可使水中酚、甲醛含量降低98%。用臭氧水處理含有化物的水溶液時，化物濃度可從15mg/L降到0.25mg/L。
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