1.超聲波清洗用純水采用兩級反滲透方式 其流程如下： 自來水→電動閥→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→精密過濾器→一級反滲透→PH調節(jié)→混合器→二級反滲透（反滲透膜表面帶正電荷）→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點 

2.超聲波清洗用超純水采用反滲透加EDI方式： 其流程如下： 自來水→電動閥→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→PH值調節(jié)系統→混合器→精密過濾器→反滲透→中間水箱→EDI水泵→EDI系統→微孔過濾器→用水點 

3.超純水制備工藝的特點及應用領域：離子交換設備是傳統的去離子水設備，它的產水水質穩(wěn)定，造價相對較低。在以往的電廠鍋爐補給水都是采用陽床+陰床+混床處理工藝。 　　 

近年來，隨著反滲透、EDI等工藝的發(fā)展，離子交換設備操作復雜，不容易實現自動化，浪費酸堿，運行成本高等缺點更加突出，目前更多的應用于反滲透的深度處理。 小型的離子交換設備常采用有機玻璃交換柱，有利于觀察樹脂運行情況。如混合離子交換器分層是否充分，陽離子是否“中毒”等，樹脂損耗情況等。 　　 

大型的離子交換設備則采用碳鋼內襯環(huán)氧樹脂或襯膠。