KJ-T1200大口徑CVD管式爐是一種具有60mm直徑石英管，真空泵和三通道質(zhì)量流量計(jì)氣體流動系統(tǒng)的可拆分管式爐。 它可以混合1-3種氣體用于CVD或擴(kuò)散。
產(chǎn)品用途：
包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。
也可用于：真空燒結(jié)、真空氣氛保護(hù)燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備等多研究領(lǐng)域。
產(chǎn)品參數(shù)：
| 型號 | KJ-T1200-CVD |
| 顯示 | 液晶顯示屏 |
| 部分 | |
| 爐膛 | 分體式和上部可以打開 |
| 工作溫度 | 1100°C |
| 加熱速率 | 建議：0?10℃/ min（20℃/ min） |
| 加熱溫區(qū) | 500mm |
| 加熱元件 | 鉬電阻絲 |
| 溫度控制精度 | ±1℃ |
| 爐管尺寸 | 外徑200mm X長度1200mm |
| 供電電源 | 三相380V，50HZ |
| 功率 | 20KW （功率以實(shí)際設(shè)計(jì)為準(zhǔn)） |
| 溫度控制器 | 30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器 |
| 第二部分混氣系統(tǒng) 七星華創(chuàng) | |
| 量程 MFC1 H2 0-200sccm 氫氣 MFC2 NH3 0-200sccm 氨氣 (D07-26C 即可，但是需要特殊要求耐氨的) MFC3 SiH4 0-200sccm 硅烷（CS200A 硅烷專用流量計(jì)） | LCD觸摸屏 |
| 第三部分 電阻硅真空計(jì) | |
| 第四部分 射頻電源 | |
| 更多規(guī)格可根據(jù)需求定制 | |
1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運(yùn)行。
3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等）。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。
