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PCE-80 8.5英寸等離子清洗機

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱深圳市科晶智達科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/1/12 9:49:01
  • 訪問次數(shù)338
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深圳市科晶智達科技有限公司2001年成立于深圳,是一家聚焦服務于高校、研究院所、企業(yè)研發(fā)部門的國家技術企業(yè),長期致力于打造安全、高效、智能的實驗研發(fā)一站式服務平臺,為科學研究與產(chǎn)業(yè)孵化賦能。 深圳科晶與美國MTI、合肥科晶、沈陽科晶同屬MTI-科晶聯(lián)盟,目前已經(jīng)搭建輻射的服務網(wǎng)絡,精心為科學家們的實驗室提供交鑰匙工程解決方案。 深圳科晶創(chuàng)立初期主要為半導體、精密光學器件提供潔凈存儲和安全轉移所使用的包裝制品,產(chǎn)品包括各種塑料膠盒、膜盒、晶圓盒、海綿盒、花籃等。 公司2008年開始進行材料相關研發(fā)設備和鋰電池實驗設備的開發(fā),經(jīng)過十多年的積累深圳科晶現(xiàn)已成為新能源和新材料基礎研究、小試與中試、測試與評估的整體解決方案規(guī)劃者和提供者,產(chǎn)品應用涵蓋了石墨烯材料、*陶瓷、*納米材料、鋰離子電池、超級電容器、燃料電池、固態(tài)電池、鈣鈦礦太陽能電池、功能薄膜等方向。 主要產(chǎn)品系列:按應用與工藝更新產(chǎn)品系列 ? 材料基礎研究實驗裝備(包括混料、涂覆、鍍膜、壓制、燒結、切割、研磨、拋光、粉碎、制粉、造粒、熔煉等); ? 電池研發(fā)實驗制備裝備(包括鋰離子電池、固態(tài)電池、超級電容器、金屬空氣電池、鈉離子電池、液流電池、太陽能電池等制備方案); ? 電池安全測試裝備(符合GB31241 、GB31485、IEC62133、UN38.3等國內標準等); ? 鋰離子電池中、小試生產(chǎn)制備全流程系統(tǒng)裝備方案,交鑰匙工程(包括扣式、柱狀、軟包、方形鋁殼等各種全電池制備方案); ? 燃料電池研發(fā)實驗制備裝備(包括固體氧化物、質子交換膜燃料電池等制備方案); ? 鈣鈦礦太陽能電池研發(fā)實驗制備; ? 功能薄膜研發(fā)實驗設備(包括混料、涂布、輥壓/復合、分切、復卷等); ? 高通量材料基因組實驗設備(包括配液、配粉、混合分散、壓片、燒結、測試表征等); 公司設立了開放的研發(fā)實驗室和設備體驗中心。對于鋰電池行業(yè),可實現(xiàn)公斤級別材料制備及電池研發(fā),能接受上門小批量材料驗證、定向工藝研究及小量成品電池制備等研發(fā)工作。 深圳科晶強大的研發(fā)團隊支撐了豐富的產(chǎn)品鏈,針對現(xiàn)有產(chǎn)品具有知識產(chǎn)權的發(fā)明和實用新型共40多項(包含PCT和國內發(fā)明),并參與行業(yè)多項標準制定且獲得多個行業(yè)協(xié)會認可。 本著“精誠合作、創(chuàng)新共贏”的宗旨,深圳科晶先后與清華大學、南開大學、上海交通大學、深圳大學、中航發(fā)航材院、溧陽天目湖研究院等十多個高校機構和企業(yè)簽署產(chǎn)學研合作。與此同時,深圳科晶設立了對外服務的公共試驗平臺,承接科研人員參觀交流與現(xiàn)場測試體驗,配備行業(yè)的售前技術人員協(xié)助研究者充分了解相關工藝和設備,縮短調研考察與決策時間。該實驗室平臺也可以承接相關工藝試驗服務和培訓咨詢服務,協(xié)助細分領域的科研工作者快速掌握產(chǎn)業(yè)工藝,從而專注前沿研發(fā)。 材料科學是基礎科學??v觀人類科技的發(fā)展歷史,新型材料的發(fā)現(xiàn)和應用將帶來巨大的產(chǎn)業(yè)機遇,而*的實驗裝備和儀器是為科研和應用保駕護航的重要保障??凭F隊將一如既往秉承“客戶為本,技術為導,誠信為基,積極創(chuàng)新”的運營理念 ,竭力為科學研究和科技發(fā)展做出貢獻。
封口設備
簡要描述:PCE-80是一款較大型的等離子清洗機,等離子腔體為 8.5 “dia x 12““L的石英腔體,采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調節(jié)。此款設備主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(如親水和疏水性等)。對于基片的清洗以及薄膜處理此款設備是較為理想的實驗幫手。
PCE-80 8.5英寸等離子清洗機 產(chǎn)品信息

PCE-80是一款較大型的等離子清洗機,等離子腔體為 8.5 "dia x 12“"L的石英腔體,采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調節(jié)。此款設備主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(如親水和疏水性等)。對于基片的清洗以及薄膜處理此款設備是較為理想的實驗幫手。

技術參數(shù)
主要參數(shù)

● 大射頻功率: 100 W

● 真空泵功率: < 500W

● 總功率: < 600W

● 電源:AC 220V , 50Hz

射頻電源

● 射頻功率可在 0 - 100W之間調節(jié)

● 頻率: 13.56 MH

● 可以與本公司工作人員聯(lián)系將原有電源升級為300W或500W的射頻電源,來進行等離子刻蝕或等離子灰化等實驗

等離子腔體

● 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高純石英腔體

● 鋁制折疊式法蘭來進行真空密封

● 法蘭上有一個直徑為60mm的觀察窗口

● 此設備屏蔽射頻輻射,零射頻泄漏

控制面板

● 通過6" 彩色觸摸屏,可控制射頻功率、真空泵的開啟、清洗時間和氣體流量等

● 儀器內部安裝有一0 - 500ml/minute質量流量計,可精確地控制進氣流量

真空泵(選配)

● 儀器必須使用抽氣速率大于4L/S的真空泵

● 極限真空度為80mTorr(參考值,具體請點擊)

通入氣體

● 等離子腔體中可以通入多種氣體來產(chǎn)生等離子,如N2, Ar, Air,H2、O2和混合氣體等等(根據(jù)材料性質所定)

● 不能使用及腐蝕性氣體。

可選

● 可選購 2" - 6" 石英舟來盛放基片

● 可選購2-4通道質子或浮子混氣系統(tǒng)

外形尺寸

620 L ×600 W ×600 H mm

認證

CE認證

質保期

● 一年保修,終身技術支持。

● 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。

● 點擊查看售后服務承諾書。

相關應用

● 請自行根據(jù)您的應用測試等離子功率

● 對于等離子清洗,根據(jù)工藝,通常保持射頻功率在10 - 30W之間

● 對于等離子刻蝕,根據(jù)工藝,通常保持射頻功率在35 - 80W之間

● 可根據(jù)要求提供300W高功率射頻電源



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