概述
nXDS6i 是下一代無(wú)油的干式渦旋泵，并取代 XDS5。與傳統(tǒng) XDS 泵相比，nXDS 性能更強(qiáng)，抽速更高，極限壓力更低，功耗更低，噪聲更小。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 還采用了新的端部密封，延長(zhǎng)了端部密封更換的時(shí)間間隔。具有自動(dòng)電壓輸入感知功能的集成變頻器驅(qū)動(dòng)提供整體優(yōu)化的泵送性能，nXDS 泵可進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)維修。
用途
- 一般清潔泵送應(yīng)用
- 電子掃描顯微鏡 - SEM
- 射束線和高能物理
- 前級(jí)渦輪泵
- 速離心機(jī)
- 覆層
- 低溫學(xué)
- 脫氣/硫化 - 油，環(huán)氧樹(shù)脂
- 蒸餾/萃取/過(guò)濾
- 冷凍干燥
- 熔爐
- 凝膠體干燥
- 實(shí)驗(yàn)室工作臺(tái)上真空
- 激光、氣體回收和再循環(huán)
- 氦檢漏儀
- 負(fù)載鎖和傳輸腔
- 稀有氣體再循環(huán)
- 稀有氣體回收
- 冷凍制造
- 旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器
- SEM/FIB（離子束維修）
- 溶劑回收
- 表面科學(xué)儀器
nXDS6i 100 - 127 V，200 - 240 V，1 相，50/60 Hz
A
特性與優(yōu)勢(shì)
- 真空外殼中不需要使用潤(rùn)滑劑，密封可的清潔和干燥真空，防止交叉污染
- 無(wú)大氣壓到真空的軸封可使軸承隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運(yùn)行，使用時(shí)間更長(zhǎng)
- 簡(jiǎn)單的單側(cè)滾軸布置電機(jī)和軸承設(shè)計(jì)相結(jié)合，只需低程度的工具，就能實(shí)現(xiàn)輕松的現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)，因此可降低運(yùn)行成本，盡可能延長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間
- 改進(jìn)了電機(jī)和傳動(dòng)效率，可降低功耗和運(yùn)行成本
- 的接口提供了傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法，可通過(guò) USB、RS232 或 RS485 實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制/監(jiān)視
數(shù)據(jù)
| 額定轉(zhuǎn)速 | 1800 rpm |
| 排量 | 6.2 m3h-1 / 3.6 ft3min-1 |
| 峰值抽速 | 6.2 m3h-1 / 3.6 ft3min-1 |
| 極限真空（總壓力） | 0.020 mbar / 0.015 Torr |
| 待機(jī)旋轉(zhuǎn)速度 | 1200 rpm |
| 速度控制精度（以全速百分比表示） | 1% |
| 轉(zhuǎn)速時(shí)的抽速 | 4.1 |
| 大連續(xù)入口壓力 | 200 mbar |
| 電機(jī)功率（一相） | 260 W |
| 電源連接器 1 相 | IEC EN60320 C13 |
| 的保險(xiǎn)絲 | 10A，250Vac rms |
| 重量 | 26.2 kg / 58 lb |
| 入口法蘭 | NW25 |
| 排氣口法蘭 | NW25 |
| 噪聲級(jí)別 | 52 dB(A) |
| 入口法蘭處的震動(dòng) | < 4.5 mms-1 (rms) |
| 密封性（靜態(tài)） | < 1x10-6 mbar ls-1 |
| 操作溫度范圍 | 10 至 40 °C / 41 至 104 °F |
