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半導(dǎo)體溫控裝置Chiller ATS M-PAK維修服務(wù)
zonglen公司，針對目前市場上進(jìn)口冰水機(jī)chiller維修費(fèi)用昂貴，服務(wù)周期長。國內(nèi)生產(chǎn)廠家魚龍混雜，設(shè)備質(zhì)量差，服務(wù)不到位等現(xiàn)象，zonglen公司愿做您可靠的后盾，為您排憂解難。
半導(dǎo)體溫控裝置Chiller ATS M-PAK維修服務(wù)
半導(dǎo)體專用溫控裝置（Chiller）主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個自我平衡的循環(huán)裝置，屬于生產(chǎn)過程中的溫控設(shè)備。在常規(guī)PID控制算法的基礎(chǔ)上加入了預(yù)測控制技術(shù)和自適應(yīng)控制技術(shù)，并采用變頻控制及兩級閉環(huán)節(jié)能控制，顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應(yīng)速度。
適用于多個行業(yè)，包括：
半導(dǎo)體制造：為半導(dǎo)體制造過程中的各種設(shè)備提供冷卻和溫度控制。
電子行業(yè)：用于電子產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中，如電子元件的制造、電路板的焊接等。
精密加工：如數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)鏜床等精密機(jī)床主軸潤滑和液壓系統(tǒng)傳動媒的冷卻。
化工、食品、醫(yī)藥：用于化學(xué)反應(yīng)、食品加工、藥物生產(chǎn)等過程中的冷卻和溫度控制。
應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP（工藝機(jī)械拋光）， 實(shí)驗(yàn)室精密裝置、 高精度測試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。
變頻控制，智能PID控制
預(yù)測控制及自適應(yīng)控制
模塊化功能定制，高效節(jié)能
兩級閉環(huán)節(jié)能控制
應(yīng)用領(lǐng)域
激光加工、印刷設(shè)備、清潔設(shè)備、焊接設(shè)備、高分析儀、LCD制造設(shè)備、模具溫調(diào)、高頻感應(yīng)加熱設(shè)備、X射線（數(shù)字式）設(shè)備等
半導(dǎo)體溫控裝置Chiller ATS M-PAK維修服務(wù)
溫度范圍：-20°C~+90°C
控溫精度：±0.1℃
觸摸屏操作，人機(jī)交互界面
連鎖控制、可靠性高
定時運(yùn)轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能
溫度波動小
