三豐518系列高度儀——高性能2D測量系統(tǒng)特點1.分辨率/重復(fù)精度為0.1μm/0.4μm時，精度可高達（1.1+0.6L/600）μm2.確保垂直度（前部）達5μm，直線度達4μm。3.全/半空氣浮動系統(tǒng)可調(diào)節(jié)氣墊高度。4.帶有基本統(tǒng)計功